使用機材・装置
システム開発
System Develop
ウェハー測定用手動プローバー(6インチ以下対応)
MODEL AKON-Prober-6i
ウェハー測定用のマニュアルプローバー
テスターと組み合わせて、ウェハ上のデバイスを検査するのに便利です。
- ウェハーサイズ
- ~6インチ
- ステージ移動範囲
- X:180mm Y:180mm
- θ軸 ステージ回転角度
- ±45°
- 外形寸法
- 460(W)x 752(L)x 626(H)
- 装置重量
- 40Kg(光学顕微鏡含む)
- 主な特徴
- check最大6インチウェハーまで対応(ウェハの端から端まで移動可能)
- checkXYZ移動はもちろん、斜め移動、θ(シータ)調整も可能
- checkXY移動は、高速移動/微細移動の2段階
- checkセーフティーロック機能(ピンをDOWNしたらXY移動が移動できないようロック)
- check光学顕微鏡
- check任意のデバイスサイズに対応(デバイスに合わせてプローブピン、カードを作成)
- オプション機能
- check8インチ対応
- checkデジタル顕微鏡に変更
- checkエアーによるウエハ吸着